コラム

2025年2月14日イオンプレーティングとは
皆さん【蒸着】という言葉はどこかで聞いたことありますか?
聞いたことはあるが、何のことかサッパリのそんなあなたに是非ご覧ください。
蒸着とは?
物理蒸着法【通称PVD】と呼ばれております。(PVD:Physical Vapor Deposition)
PVDは物理的反応を利用して対象物に被膜を形成する工法になります。
分類としては、【真空蒸着】【イオンプレーティング】【スパッタリング】に分類されます。
今回は【イオンプレーティング】について説明します。
イオンプレーティングは、真空蒸着とほぼ同じ原理です。異なるところは、導入したアルゴンガスと
蒸発した金属がプラズマによってイオン化され高い運動エネルギーを持ちマイナスの試料台に強く吸い付けることで、
通常蒸着に比べより密着性が強く、製品への付き周り(回り込み)が良好な膜を成膜できます。